Elektronik / Halbleiter Lösungen

Herausforderungen der Branche

Restfeuchtigkeit verursacht Chipfehler: Die Halbleiterfertigung erfordert einen extrem niedrigen Feuchtigkeitsgehalt in der Druckluft. Minimale Feuchtigkeitsspuren können zu Chipoxidation, Kurzschlüssen und erheblichen Ertragseinbußen führen.

Ölnebelkontamination beeinträchtigt Waferqualität: Ölnebel in der Druckluft haftet an Waferoberflächen an und verursacht Defekte in Lithografie- und Ätzprozessen, was die Produktqualität massiv beeinträchtigt.

Partikel verursachen Kurzschlüsse: Mikropartikel (≥ 0,1 μm) können interne Kurzschlüsse oder Unterbrechungen in Chips verursachen, was extrem strenge Anforderungen an die Sauberkeit stellt.

Zuverlässigkeit im 24/7-Dauerbetrieb: Halbleiterfabriken arbeiten in der Regel rund um die Uhr. Geräteausfälle oder Schwankungen in der Luftzufuhr können ganze Produktionslinien stilllegen und enorme Verluste nach sich ziehen.

Lösungen

Kombinationstrocknungssystem für extrem niedrige Taupunkte: Einsatz von Kombinationstrocknern zur stabilen Ausgabe eines Drucktaupunkts von -40 °C, um die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen.

Hochpräzises Filtersystem aus Edelstahl: Präzisionsfilter mit Edelstahlgehäuse und einer Filtrationsgenauigkeit von bis zu 0,01 μm gewährleisten eine ölfreie, staubfreie und mikroorganismenfreie Reinluftversorgung.

Intelligente SPS-Steuerung & Fernüberwachung: SPS-Steuerung mit RS485-Schnittstelle ermöglicht Fernüberwachung, Fehlerselbstdiagnose und Alarmierung für einen unbeaufsichtigten Betrieb.

Redundantes Design für unterbrechungsfreie Versorgung: Kritische Prozessabschnitte werden in N+1- oder redundanter Konfiguration mit nahtloser Umschaltung ausgeführt, um eine kontinuierliche Produktion zu garantieren.

Empfohlene Produkte

Kombinationstrockner — DM110ZHMR

Warmregenerierter Adsorptionstrockner — DM15MR / DM40MR

Kältetrockner — DM026APF / DM026GF

Edelstahl-Präzisionsfilter